L'électron comme source d'images et d'analyses
Claude Esnouf,
INSA de Lyon
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Introduction : pourquoi l'imagerie électronique ?
Plan de l'exposé
Les types de microscopie électronique
En transmission (MET) - à balayage (MEB)
Microscopie tunnel
Les organes des microscopes MEB et MET
Les signaux recueillis
Les principaux signaux
Les principaux phénomènes
La microscopie à balayage
La microscopie en transmission
La microscopie environnementale
La cartographie chimique au MEB
La cartographie d'orientation au MEB
La diffraction électronique au MET
L'imagerie STEM : imagerie par balayage et détection par transmission
La cartographie chimique par pertes d'énergie
L'imagerie 3D par "Dual Beam SEM/FIB"
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